电子探针及镀膜仪故障三例与镀膜仪样品架的设计

摘要

各种大型精密的电子显微镜，都有一个真空系统，主要给仪器的电子枪和镜筒部分提供一个高真空的空间，使电子枪发射的电子束在经过镜筒时不受气体分子的干扰，有利于形成高质量的电子显微图像，有利于进行高质量的微区成份分析。真空系统在使用过程中，由于有机械部分、电子测量与控制部分、冷却水循环部分，因此故障率较高。为了与同行相互交流经验，现将JCXA-733电子探针及JEE-4X真空镀膜仪的真空部分的三例故障分析和排除方法介绍如下。