区熔再结晶制备多晶硅薄膜太阳电池

李维刚; 许颖; 励旭东; 姬成周

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研究了区熔再结晶 (ZMR)设备及其工艺特点 .在覆盖SiO2 的重掺P型单晶硅衬底上用快速热化学气相沉积 (RTCVD)在其上沉积一层很薄的多晶硅薄膜 ,用区熔再结晶法对薄膜进行处理 ,得到了晶粒致密 ,且取向一致的多晶硅薄膜层 .以此薄膜层为籽晶层 ,再在上面以RTCVD制备电池活性层 ,经过标准的太阳电池工艺 ,得到了转换效率为 10 .2 1%,填充因子为 0 .6 913的电池产品 .

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来源
《北京师范大学学报：自然科学版》 |2001年第6期|746-749|共4页
作者
李维刚; 许颖; 励旭东; 姬成周;
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作者单位

北京师范大学低能核物理研究所;

北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室;

北京市太阳能研究所光电室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TM914.42;
关键词
区熔再结晶; 多晶硅薄膜; 太阳电池; 快速热化学气相沉积; 制备工艺; 转换效率;

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