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镍离子束动态增强沉积多元氮化物膜

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采用镍离子束动态增强沉积合成膜层 ,对膜层进行了分析 ,测试了膜层试样的电化学性能 .与非增强沉积膜层相比 ,镍离子束动态增强沉积膜层有更好的电化学耐蚀性能 .

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来源
《北京师范大学学报：自然科学版》 |2000年第5期|646-648|共3页
作者
张涛; 李国卿; 张荟星;
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作者单位

北京师范大学低能核物理研究所;

射线束技术与材料改性教育部重点实验室;

北京辐射中心;

大连理工大学物理学系;

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正文语种 chi
中图分类真空镀与气相镀法;
关键词
金属离子束; 薄膜; 表面改性; 氮化钛; 沉积;

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