砷在硅中集团模型定量化基础的一个反证

摘要

本文简要回顾了砷在硅中集团模型的发展过程,并且分析了质量作用定律在集团模型中应用的条件.RBS沟道角扫描结果表明3×10^(16)cm^(-2)As注入Si,通过RTA制备的样品在850℃,5h后退火过程中,As和Si原子移位分别为0.15和0.12,并且根据Morse势计算出移位的As原子和Si原子势能的变化分别为0.10eV和0.06eV.这些数据是和质量作用定律作为砷集团模型的定量化基础不相容的.