柔性电容式压力传感器制作与性能优化分析

摘要

设计了一种电容式压力传感器,研究了介电层结构对传感器性能的影响.以PDMS材料作为传感器的介电层,以碳黑材料作为传感器的上下电极,并对介电层进行圆孔处理,与未进行圆孔处理传感器的灵敏度进行比较.试验表明,改进介电层结构的传感器能够及时地检测外部压力的变化,传感器的灵敏度为0.0175,较未改进介电层结构传感器的灵敏度提升了大约40％.