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基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状

         
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摘要

非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注.一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来.介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究现状,最后展望了其发展前景.

著录项

  • 来源
    《电子工业专用设备》 |2007年第1期|6-9|共4页
  • 作者

    史海涛; 欧毅; 陈大鹏; 张青川; 伍小平; 焦斌斌; 李超波; 罗小光; 由春娟;

  • 作者单位

    中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;

    中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;

    中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;

    中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027;

    中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027;

    中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;

    中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;

    中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;

    中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 机电系统;
  • 关键词

    非制冷红外成像; MEMS; 双材料微悬臂梁阵列; 光学读出;

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