铜构件磁控溅射多层膜及其耐蚀性

摘要

先在铜基体上电镀Ni层,接着溅射沉积Ni-Cr和Ni-Cr-Al-Si合金薄膜。对比了Ni层、Ni/Ni-Cr复合膜层和Ni/Ni-Cr/Ni-Cr-Al-Si复合膜层的相结构、微观形貌和耐蚀性。结果表明,Ni电镀层表面光滑,Ni/Ni-Cr复合膜层和Ni/Ni-Cr/Ni-Cr-Al-Si复合膜层表面都由致密、连续的团簇颗粒组成。铜基体与Ni电镀层之间、Ni电镀层与溅射沉积薄膜之间都紧密结合。3种试样在海水中的腐蚀机制相同,Ni/Ni-Cr/Ni-Cr-Al-Si复合膜层的耐蚀性最佳。