基于LEDIT的STEP光刻版数据图形自动排版

摘要

本文通过C++语言对Ledit软件进行二次开发,采用面向对象的编程方法,实现光刻版版图的快速处理与布局的自动排布。通过生产实践,验证了自动排布程序能够有效缩短设计时间、提高设计效率,加速光掩膜制造的生产周期。