热隔离式MEMS气体流量传感器的设计

摘要

本文设计了一种热隔离式MEMS气体流量传感器系统,系统基于复合支撑薄膜电调制红外辐射源,是单片式电容硅基微传声器,借助接口连接微孔粉尘过滤、低温除湿器,实现MEMS与IC集成。在紧急应急方面,借助长光程气体池、光路系统,对光源、检测器进一步优化,通过可扩充多气体分析软件、仪器自动操控软件,在线监测化工区域生产数据,一旦出现突发问题会自动启动应急救援系统,避免灾害进一步扩大。