快恢复二极管位错分析方法

摘要

本文通过实验方法分析了快恢复二极管在扩铂工序与外延工序产生的位错的位置不同。通过实验,给出了如何判定快恢复二极管中位错是在哪个工序产生的方法。并通过对比的方法解决了表面损伤给腐蚀缺陷判定带来的干扰。为快恢复二极管工艺失效分析时,提供了一种有效手段。