一种可灵活配置的机械手晶圆定心装置

摘要

在半导体行业中,各腔室之间或工位之间通常使用机械手来完成晶圆的传送。在晶圆传输系统中,为避免取片时偏位或晶圆破损等客观因素的发生,提高晶圆取放的准确度,需要设计并使用AWC（Active Wafer Centering）晶圆自动定心功能来进行检测与校正。本文总结了半导体厂商对AWC功能的不同需求,设计了一种通过上位机软件灵活配置AWC功能的机械手晶圆定心装置,可有效解决AWC硬件资源的浪费及更改互联电缆所造成的人力物力上的浪费问题。