太阳电池湿法刻蚀技术研究

摘要

研究湿法刻蚀工艺在多晶硅电池的应用。通过调整湿法刻蚀设备刻蚀槽化学药品配比,药品浓度,反应温度,药液流量等工艺参数,来优化湿法刻蚀工艺达到理想的背面抛光效果,最终实现太阳能电池转换效率提升0.05%以上。