近红外锗硅光电探测器的研究进展

摘要

介绍了单片集成硅基光接收器相对于混合集成光接收器在光纤通信领域的应用优势,介绍了与硅微电子工艺兼容的、工作在波长λ=0.80～1.60μm近红外波段的锗硅光电探测器在单片集成硅基光接收器中的应用价值.描述了SiGe应变层特性.详细评述了近红外锗硅光电探测器的最新研究进展实例并对其未来作出展望.