中国高端真空泵驱动电机及控制技术的现状和发展

摘要

真空泵作为真空获得的重要设备,在电子芯片、大规模集成电路、精细化工、生物制药、光伏产业等领域受到了广泛关注及应用,其性能指标很大程度取决于驱动电机及其控制技术.介绍了真空泵驱动电机的基本种类与工作原理,总结了共性规律和个性特点,对其拓扑结构、冷却方式和智能控制等关键技术进行综述,分析了真空泵驱动电机在特殊工况条件下的控制策略问题.最后,对真空泵驱动电机及其控制系统的主要研究方向进行了展望.