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应济; 李俊; 王硕; 徐亮;
浙江大学机械工程学系;
微机电系统(micro-electro-mechanical; system; MEMS); 静电; 微泵; 吸合; 释放;
机译:悬浮微通道谐振传感器在静电作用下的吸合效应
机译:基于修正耦合应力理论的尺寸对静电微束吸合行为的影响
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机译:用于承受静电负载的微弯曲梁的吸合电压的封闭式解决方案
机译:开发高度集成的magetically和静电驱动微泵:LDRD 64709最终报告。
机译:一种静电微泵和一种产生静电微泵的方法
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