一种用于压电驱动微动工作台的测控系统

摘要

研究了压电陶瓷驱动器特有的迟滞和儒变特性,针对它的这些非线性特点,给出了一种有效消除这些非线性误差的闭环控制方案。采用高精度A/D和D/A转换芯片,设计了基于PC机并行增强口EPP协议的控制板。在自行设计高压驱动电路的基础上,研制出了用于纳米级定位的数字闭环控制器。测试结果表明,此控制器很好地克服压电陶瓷驱动器的非线性特性,系统定位精度优于10 nm。