真空电弧等离子射流法制备超细纤维

摘要

利用真空电弧等离子射流法制备出Si+SiO_2、Si+Si_3N_4超细纤维,分析了超微粒子的表面效应、等离子体烧结作用、反应气氛及温度场等对超微颗粒生长过程的影响。