云纹干涉法测量铁电陶瓷的离面位移

摘要

文章采用反射式高灵敏度离面云纹干涉法测量了铁电陶瓷的离面位移。在铁电陶瓷上复制了每毫米１２００位相型闪耀光栅的试件栅；采用迈克尔逊干涉光路、全息干版照相、ＣＣＤ摄像机及其微机实时图像处理系统获取了试件表面的离面位移场的干涉条纹图。