石英晶体切型对谐振器加速度频率的影响

摘要

本文讨论了几种切型振动模式对体波和声表面波谐振器的加速度频率灵敏度的影响。结果表明;切型不同加速度频率灵敏度不同;同种切型支撑结构不一样,其频率灵敏度也不一样;表面波谐振器的加速度频率灵敏度明显高于体波谐振器的频率灵敏度。