具有PDEB LB膜的声表面波湿度传感器

摘要

介绍一种新型聚炔离子导体湿敏材料——聚对二炔苯（ＰＤＥＢ）的Ｌａｎｇｍｕｉｒ－Ｂｌｏｄｇｅｔｔ（ＬＢ）成膜原理与制备，淀积有１０层ＰＤＥＢＬＢ膜层的声表面波延迟线型湿度传感器的特性。由于ＬＢ成膜技术拉制的膜可以在分子水平上进行定量控制，保证了膜的均匀性和一致性。实测结果表明，具有ＰＤＥＢＬＢ膜的声表面波湿度传感器灵敏度为－０．５ｋＨｚ／ＲＨ％，线性度良好。