基于ZnO/Al_(2)O_(3)缓冲层制备耐高温SAW器件电极

摘要

为了声表面波(SAW)器件能在高温环境(不小于1000℃)中工作,该文设计并在La_(3)Ga_(5)SiO_(14)压电衬底上制作Pt/ZnO/Al_(2)O_(3)多层复合薄膜电极,利用ZnO/Al_(2)O_(3)组合缓冲层增强了Pt薄膜电极在极端高温条件下的导电稳定性。制备的SAW器件在经历3次1000℃高温热处理后仍保持稳定的回波损耗系数S_(11)。实验结果表明,ZnO/Al_(2)O_(3)组合缓冲层结构在提高SAW器件电极高温导电稳定性方面具有一定的潜在应用价值。