一种非接触式表面形貌测量系统的研究

摘要

介绍了一种非接触式的表面三维形貌测量系统，该系统采用了光学离焦原理中的象散法．从激光束光学中简洁的ＡＢＣＤ定律出发，分析并获得了系统的特性曲线，这比采用几何光学方法得到的结果更接近实际情况．在±５μｍ的线性范围内，系统的噪声在±６ｎｍ范围内．通过对几种标准样板的实测，得到了与实际相符的结果．最后给出了表面三维形貌的测量结果．