纳米级PZT颗粒制备及压电性能检测

摘要

对微米级锆钛酸铅(PZT)粉体的无水乙醇溶液进行兆赫超声处理,制备PZT纳米颗粒,将试样滴于蒸金硅片上并进行烘干处理,采用压电力显微镜观测其尺寸、表面形貌及纵向压电系数。试验结果表明,试样中微米级PZT颗粒的纵向压电系数在20～40pm/V上下浮动,纳米级PZT颗粒纵向压电系数在2～10pm/V上下浮动,均具有压电性能。该方法为制备厚膜压电器件提供了一种可行的技术途径。