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崔崧; 高应俊; 阮驰; 郝爱花;
中国科学院西安光学精密机械研究所;
成象式投影光刻系统; 微透镜阵列; 光刻胶熔融法; 离子束刻蚀法; 形成原理; 制作工艺; 超大规模集成电路;
机译:混合分层扫描投影微立体光刻技术制造锥形微透镜阵列和中空微针阵列
机译:使用灰度微透镜投影光刻技术制造具有可控轮廓的微透镜阵列
机译:投影微立体光刻中使用非分层方法制造微透镜阵列
机译:用于大面积微加工光刻的新型阵列透镜光学系统
机译:面向功能设备直接数字制造的新型可扩展投影微立体光刻系统的开发
机译:基于图案化集成软光刻工艺的微透镜阵列的仿昆虫成像系统
机译:发光二极管投影微立体光刻三维制造系统的设计与优化
机译:用于与微光刻投影曝光系统一起使用的照明装置,具有在光混合系统之前沿传播的光方向布置的微透镜阵列,其中多个微透镜被周期性地布置
机译:光学单元例如光学透镜,一种用于微光刻投影照明系统的保持和密封装置,其密封件可在密封件相对于透镜密封的位置和密封件与透镜间隔开的位置之间移动
机译:基于活动LED阵列和微透镜阵列的光场投影仪,用于头戴式光场显示器
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