声表面波器件温度敏感性研究

摘要

与内外应力一样 ,温度亦是影响声表面波器件工作性能的主要参数之一。文章分析了目前声表面波器件温度补偿的状况。利用波扰动方程 ,分析研究了声表面波器件频率 -温度敏感性与石英晶体各向异性参数之间的关系。从中得出石英晶体的高温度敏感和低温度敏感的切型。实验验证取得了较好的效果。