基于石英晶体三分量土层压力传感器研制

摘要

介绍了一种基于AT切石英晶体谐振器力-频线性关系原理研制的土层压力传感器。该压力传感器由3个相互垂直的压力传感器和1个温度传感构成,采用等精度频率测量技术,实现高精度数据采集,用RS485串行接口进行数据传输。重点介绍了传感器的结构设计,并对弹性膜片材料和厚度与量程和灵敏度的关系进行试验和研究。研制的传感器量程为0～1.0MPa,非线性度小于1.0%,重复性误差小于0.05%,滞后误差小于0.1%,温度的测量精度为0.01℃,可用于地震监测的试验。