压电陶瓷驱动三自由度精密移动定位微小机器人

摘要

使用压电陶瓷堆材料作为微驱动元件,设计了一种三自由度基于尺蠖蠕动原理工作的精密移动定位微小型机器人。采用显微镜作为测量元件,通过测量机器人移动时像素点位置的方法,完成了对该机器人沿X、Y方向的直线移动定位以及绕Z轴的θ角转动定位的试验测试,测试结果证明了设计的合理性与实用性。