TiN-TiN/CrN-CrN薄膜的制备及应用研究

摘要

通过采用辅助增强磁控溅射方法,研究了在硬质合金刀片上制备TiN-TiN/CrN-CrN薄膜的工艺方法。利用SEM、XRD等方法分析了Cr靶溅射电流、N2气量的变化对TiN-TiN/CrN-CrN膜的表面形貌及结构和织构影响,采用断续切削试验方法研究了TiN-TiN/CrN-CrN涂层刀片的耐磨性及抗剥落性,得出了一种TiN-TiN/CrN-CrN薄膜工业化制备方法。