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吴昊; 孟永钢; 苏才钧; 郭占社; 温诗铸;
清华大学摩擦学国家重点实验室;
拉曼谱; 多晶硅; 薄膜; 残余应力;
机译:显微拉曼光谱法测量多孔硅中残余应力的实验分析
机译:用拉曼显微镜表征玻璃基板上多晶硅薄膜的缺陷和应力
机译:多晶硅MEMS谐振器中残余应力的显微拉曼光谱分析
机译:用拉曼显微镜表征掺硼金刚石薄膜中的内部应力。
机译:掺硼金刚石内部应力的拉曼显微分析
机译:用拉曼光谱和透射电子显微镜表征多晶硅薄膜:比较研究
机译:用显微拉曼光谱法测量多晶硅材料的机械内部应力。
机译:相干拉曼光谱分辨率评估图表,其制造方法,相干拉曼显微镜的光源装置以及相干拉曼显微镜的调节方法
机译:外部腔波长稳定的对温度和/或外部机械应力不敏感的拉曼激光,以及使用相同的拉曼分析仪
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