薄膜型热释电红外探测器的发展

摘要

介绍了薄膜型热释电红外探测器的性能特点和工作原理。从材料选择，器件结构和制备工艺综述了近几年国内外的研究成果及发展动态，并对器件的主要应用进行了总结。