压电超声微马达精密驱动的二维微动台

摘要

发展了一种采用压电超声微马达精密驱动控制的二维微动台及其控制电路。利用压电超声马达的低速、大扭矩、高分辨率特性，直接驱动微动台的微调旋钮，可获得很高的位移分辨率和大的驱动力。利用一个单片机控制系统，通过对超声马达驱动信号的斩波控制实现了微动台步进位移的连续调整。已研制的二维微动台，采用一对直径为１５ ｍ ｍ ，长２５ ｍ ｍ 的压电超声微马达作为驱动控制元件，已获得１２ ｎｍ 的位移分辨率和１０ Ｎ的驱动力。