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郑升灵; 李丽; 要志宏; 李宏军; 李丰;
中国电子科技集团公司第十三研究所十六专业部;
氮化铝(AlN); 轮廓模式; 体声波; 矩形盘谐振器;
机译:基于Si的轮廓模式环形AlN微谐振器及其在串联谐振变换器中应用的可行性
机译:基于226.7 MHz AlN轮廓模式谐振器的低相位噪声自主参数振荡器
机译:基于多频AlN轮廓模式MEMS谐振器的可重构CMOS振荡器
机译:锚固损耗对轮廓模式AlN谐振器品质因数影响的实验研究
机译:AlN MEMS轮廓模式谐振器和CMOS电路的异构集成
机译:SOI基板上的轮廓模式MEMS ALN压电环谐振器的温度特性
机译:与AlN轮廓模式谐振器单片集成的压电AlN RF MEMS开关的双光束驱动
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)
机译:压电ALN RF MEM开关与ALN轮廓模式谐振器单片集成
机译:压电式ALN RF MEM开关与ALN轮廓模式谐振器整体集成
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