不同气氛下制备的PLT铁电薄膜钉扎现象的研究

摘要

采用金属有机物热分解法在氮和氧气氛下分别制备了不同Ｐｂ过量的镧钛酸铅（ＰＬＴ）铁电薄膜。薄膜电性能测试表明，两种气氛下所制备的Ｐｂ过量ＰＬＴ薄膜样品出现电滞回线束腰和ε－Ｖ曲线四峰等异常现象。氧气氛下薄膜电性能的异常程度强于氮气氛下的薄膜，而氮气氛下薄膜电滞回线在水平方向上的漂移程度远大于氧气氛下的薄膜。实验表明，氧气氛促进了Ｐｂ过量的ＰＬＴ薄膜在晶界处和界面上ＰｂＯ相的形成，增强了ＰｂＯ相所导致的陷阱电荷对电畴的钉扎效应。而氮气氛促进了下电极与薄膜界面处氧空位的产生，被陷的氧空位与Ｐｂ空位等组成的偶极子在电场作用下不能反转，因此产生了ＰＬＴ薄膜在水平方向的较大漂移。