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李荣彬; 张志辉; 杜雪; 孔令豹; 蒋金波;
香港理工大学工业及系统工程学系;
自由曲面光学元件; 超精密加工; 自由曲面测量; 数字化仿真;
机译:用于设计,制造和测量超高精度自由曲面光学器件的集成制造系统
机译:光学半导体集成技术到莫伊光网络晶体生长技术和光学半导体集成元件的加工处理
机译:具有集成微流控技术的单面测量微加工平面膜片钳基片的设计与制造
机译:用于在高度集成的光学微系统中制造自由曲面的超精密加工技术
机译:金刚石车床产生的自由曲面光学元件的设计,制造和建模。
机译:通过参数化设计和增材制造使科学民主化:用于散射测量的多功能,低成本光学仪器的设计和制造
机译:集成制造技术,用于自由曲面光学器件的设计,加工和测量
机译:半导体测量技术:半导体工业中材料,加工和制造的光学表征方法综述
机译:用于光学发射器的自由形衍射光学元件(doe)以及设计和制造自由形doe的方法
机译:投影曝光系统的照明光学器件,用于制造微或纳米结构部件的极端UV投影光刻技术,具有部分光学器件,设计成使得光以会聚光路入射到分面镜上
机译:用于光发射器的自由形衍射光学元件(DOE)以及设计和制造自由形DOE的方法
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