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高霞; 王志斌;
中北大学物理系;
山西省光电信息与仪器工程技术研究中心;
声光可调谐滤波器(AOTF); 铌酸锂; COMSOL; Multiphysics; 压电换能器; 有限元仿真分析;
机译:使用COMSOL Multiphysics软件设计和分析基于MEMS的氮化铝(AlN),铌酸锂(LiNbO 3 / sub)和具有不同基板材料的氧化锌(ZnO)悬臂,它们具有不同的基板材料
机译:通过直接粘结铌酸锂晶片生产的无磁滞高温精密双压电晶片执行器
机译:在硅晶片上制备薄铌酸锂层,以实现声器件和LSI的晶片级集成
机译:基于铌酸锂双压电晶片的精密定位执行机构的仿真,制作和测试
机译:板声波在Z切割锂铌酸锂中的传播:单晶和周期性极化晶片
机译:低温键合法制备的LNOI / Si杂化晶片铌酸锂薄膜层中的残余应力
机译:基于MEMS的表面声波传感器使用COMSOL Multiphysics的设计与仿真
机译:冲击负载铌酸锂的异常压电流脉冲
机译:基于铌酸锂 - 硅晶片的高速低压电光调制器
机译:三组分压电陶瓷-基于铌酸镍,铌酸钛和锆酸铅,并通过铋和锌酸改性以增加压电常数
机译:基于铌酸锂 - 硅晶片的单片集成光学模数转换系统及其制造方法
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