激光刻蚀实现介质谐振器参数微调的研究

摘要

研究提出激光刻蚀加工技术的新方法,实现微波陶瓷介质谐振器的参数微调。首先运用电磁理论推导求解本征值问题的有限元法,利用该方法验证了机械调节谐振器参数存在的缺点,重点研究激光刻蚀微调操作中存在的几种影响因素,获得激光微调参数与谐振频率改变量的关系式。最后用自制相对频率误差小于0.2%的微波介质谐振器验证了激光刻蚀法微调的优势。