用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计

摘要

为了提高大数值孔径投影物镜成像质量,需对镜片进行高精度微调。压电陶瓷是一种高精度定位的执行元件。根据电压控制型压电陶瓷驱动电源的原理,利用运算放大器PA88和OPA2227构成的高压运放式复合放大电路,设计了一种高精度的压电陶瓷驱动器,用于驱动镜片的精密微调。详细阐述了驱动器和供电电源的设计原理,并运用Multisim10软件对该驱动器的输出电压、线性度、静态纹波及稳定性进行了仿真分析。结果表明,该驱动器具有输出精度高,最大非线性误差为0.000 5%,静态纹波小(±100nV),稳定性强等优点,达到了投影物镜中镜片微调要求。