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娄利飞; 杨银堂; 李跃进; 张军琴;
西安电子科技大学微电子研究所宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室;
压电薄膜; 有限元分析; 微开关;
机译:PZT膜片对折叠式压电单向致动器驱动的微扫描仪的设计和优化
机译:基于PZT薄膜桥的集成RF开关的压电驱动MEMS
机译:使用分离式PZT执行器的压电推动旋转微镜,用于广角光开关应用
机译:PDMS微阀由PZT压电致动器驱动的硅晶片上
机译:微流体芯片的设计研究硅氧纳米线检测到的抗原驱动电压电位差异的潜在使用,其用抗体官能化树枝状大分子进一步涂覆的金纳米颗粒进行抗体 - 官能化的树枝状大分子进行后诊断
机译:压电微机械超声换能器上硅基PZT纤维外延薄膜的制备与表征
机译:用于微创手术的PZT双压电晶片执行器的优化设计
机译:用于可变形反射镜的pZT单晶微致动器的优化设计,制造和特性
机译:单分散生物降解聚合物基微球和可生物降解基于聚合物的药物递送系统的批量生产设计的设计和方法的优化
机译:用储层选择开关和三端双向可控硅开关驱动电路驱动多储层压电燃料喷射器元件的方法和装置
机译:-优化用于单分散可生物降解的聚合物基微球和可生物降解的聚合物基药物递送系统的批量生产设备和工艺的设计
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