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宋会英; 杨瑞; 于肇贤; 赵真玉;
中国石油大学(华东)计算机与通信工程学院;
山东东营257061;
北京信息科技大学理学院;
北京100192;
电子束光刻; 邻近效应校正; 内部最大矩形; 顶点矩形; 累积分布函数;
机译:通过电子束光刻中的图案辅助邻近效应校正来控制区域形状,以提高X射线光学器件的效率
机译:用于电子束光刻中的邻近效应校正的点扩展函数的实验评估方法
机译:通过将邻近效应校正与灰度技术相结合,改善了电子束光刻中的CD控制和线边缘粗糙度
机译:使用GPGPU的电子束光刻中的短距离邻近效应校正算法的优化
机译:亚微米电子束光刻的计算机可视化和邻近效应校正
机译:作者校正:有缺陷的内部变构网络赋予蛋白激酶A的致癌嵌合体中的功能障碍ATP /底物结合合作效应
机译:电子束光刻中基于傅里叶预补偿的邻近神经校正中的最佳滤波与正则化方法
机译:电子束光刻的邻近效应校正程序
机译:在电子束光刻过程中确定用于校正邻近效应的邻近函数参数的方法,涉及在用傅立叶级数演化找到参数的过程中将周期结构表示为图案
机译:电子束光刻工艺中邻近效应引起的基板结构制造中结构缺陷的几何校正
机译:电子束光刻技术中的邻近效应校正
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