微型压电超声马达定子表面振动特性分析

摘要

微型压电超声马达定子表面的振动幅度是难以检测的动态微小量。定子振动状态将直接关系到压电马达的实现与否。首次分析了采用均分电极结构的微型压电超声行波马达的定子表面的振动振幅。通过对影响定子振幅相关因素的分析，表明要获得最佳的表面振动效果，压电薄膜与弹性体的厚度必须相匹配。