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马文英; 姚军; 任豪; 王大甲;
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室;
MEMS; 二维扫描镜; 模态; 动态响应; 偏转角;
机译:压电驱动MEMS扫描镜的设计与振动分析及其在激光投影中的应用
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机译:基于单和双S形PZT执行器的压电驱动MEMS反射镜的二维扫描应用研究
机译:二维扫描MEMS微镜的位置感应和静电驱动电路
机译:带有新型静电角垂直梳状驱动器的MEMS扫描微镜。
机译:用于二维光栅扫描的静电梳理MEMS扫描镜的开发
机译:使用具有低操作电压的混合动力驱动机制的二维MEMS扫描镜
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机译:作为MEMS镜扫描仪的驱动方式和MEMS致动器扫描仪的驱动方式以及MEMS镜扫描仪的驱动方式,其中
机译:用于MEMS镜扫描仪的MEMS驱动方法及使用该方法的MEMS镜扫描仪的驱动装置
机译:静电MEMS扫描镜的驱动校准装置及其驱动校准方法
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