单片式ZnO/Si SAW卷积器/相关器初探

摘要

声表面波(SAW)卷积器/相关器是扩频通信讯系统的关键部件。它可用作改善扩频通信系统信噪比的匹配滤波器元件。SAW卷积器/相关器还可用来消除雷达系统中的固有畸变和缩短处理时间,并能使其系统大大简化。本文叙述了制作在n型Si半导体基片上的单片式ZnO/SiSAW卷积器/相关器的设计、原理、结构、制作及其初步测试结果,并进行初略的讨论和提出改进性能的措施。