AlN薄膜体声波谐振器的二维数值模拟

摘要

利用时域有限差分法对薄膜体声波谐振器进行了二维数值分析。对压电方程和牛顿运动方程在时域和空域利用中间差分进行离散化。采用ANSOFT Maxwell 2D商业软件计算静电场的分布,得到了电场强度的分布。可精确预测各场分量在空间和时间上的分布。在记录一段时间内的电压和电流值的基础上,利用Prony算法计算了薄膜体声波谐振器的电学阻抗特性。