CSD法制备PZT/Bi_2Ti_2O_7薄膜的研究

摘要

用化学溶液分解 (CSD)法制备 Pb(Zr0 .5 Ti0 .5 ) O3 (PZT)和 Bi2 Ti2 O7薄膜 ,利用 X-射线衍射技术研究了以 Bi2 Ti2 O7为籽晶层的 PZT薄膜的结晶性。实验结果表明 ,以高 (111)取向的 Bi2 Ti2 O7为籽晶层可获得高结晶性的 PZT薄膜 ,在 75 0°C退火 10 min的 PZT/Bi2 Ti2 O7薄膜具有单一的钙钛矿相。