三种弯曲旋转超声电机的原理及研究

摘要

介绍了三种不同结构的弯曲振动模态超声微电机。详细讨论了它们共同的驱动原理 ,分别介绍了压电片夹心式和压电管式电机的结构特点及性能测试。在此基础上 ,研制了一种更易实现微型化的压电柱式超声微电机 ,并介绍了它的极化原理及结构。文章对弯曲振动模态超声电机的设计具有指导意义 ,对其深入研究具有参考价值。