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余怀强; 杜建宇; 刘雨陇; 陈星; 邓立科; 张磊; 王玮;
中国电子科技集团公司第二十六研究所;
重庆400060;
中国地质大学(北京)工程技术学院;
北京100083;
北京大学集成电路学院;
北京100091;
热管理; 微系统; 压电微泵; 热流密度; 内嵌微通道;
机译:压电致动器可将平板玻璃变成可变透镜具有一侧接触的压电弯曲致动器可用于带有真实玻璃膜的可调液体透镜。弗莱堡大学微系统技术研究所(MTEK)在ACTUATOR 2016大会上首次展示了这一点。
机译:用快速系统响应时间的微流体液滴产生压电隔膜微泵的真空驱动的流体操纵
机译:压电微泵集成散热器热管理性能的实验研究
机译:压电传感器CMOS控制和致动系统,用于泵浦,混合和加热微流体在实验室芯片装置中的微流体
机译:具有电渗泵和热响应聚合物阀的微流体生化分析系统。
机译:使用热双压电晶片微悬臂阵列量热法检测含能材料的数值建模和实验验证:挥发性有机化合物(VOC)感测蒸气的案例研究
机译:一种用于紧凑型高频高压差压微泵系统的压电微阀
机译:使用基于mEms的泵送液体冷却系统的微/纳米航天器热控制
机译:在微流体系统中用作微型泵的微型阀,即在化学诊断系统中使用的微型蒸汽轮机具有通过压电材料制成且部分装配在一起的通道限制
机译:压电电动微泵输送的液体量调节系统
机译:压电电控微泵输送液量调节系统
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