铝表面高压阳极氧化膜层结构分析

摘要

采用X射线衍射 (XRD)、扫描电镜 (SEM )和X射线光电子能谱 (XPS)综合分析了铝在磷酸和钨酸钠体系中形成的高压阳极氧化膜的成分、形貌和结构。XPS结果表明 ,氧化膜的主要组成元素为O和Al,同时夹杂有少量的P和W。SEM分析发现 ,氧化膜呈网状结构 ,孔隙率约为 10个/ μm2 ,孔径大小为 0 .15～ 0 .2 0 μm。氧化膜大致可以分为紧密层和疏松层两层。紧密层、疏松层、基体三者之间相互交错 ,紧密相连。SEM显示 ,紧密层和疏松层中均存在大量的龟裂纹。XRD分析表明 ,氧化膜呈现非晶态结构 ,以铝的氧化物为主要组成成份 。