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章安良; 张小权; 胡文艳; 付相庭; 查燕;
常州工学院电子信息与电气学院;
宁波大学微纳电子系统研究所;
压电基片; 薄膜; 声表面波(SAW); 衰减; 微流器件;
机译:纵向型泄漏声表面波在Sc_xAl_(1-x)N薄膜/ LiNbO_3衬底组成的层状结构上的传播特性
机译:碳化硅上氧化锌薄膜声表面波传播特性的实验和理论表征
机译:水平剪切声表面波耦合对瑞利声表面波在128度YX-LiNbO3上横向传播的影响
机译:晶体切角和声表面波传播方向对垂直泄漏声表面波在ScAlN薄膜/石英衬底上传播的影响
机译:SiO2薄膜和LiNbO3衬底在温度补偿声表面波器件中的杂散波响应研究
机译:声电对涂有电纺ZnO纳米结构薄膜的声表面波传感器的响应的影响
机译:引导模式传播中表面波动对声振幅影响的初步研究
机译:具有多个轨迹的声表面波,用于传播声表面波
机译:用于确定结构元件机械变量的传感器系统,例如利用压电测量元件评估声表面波声表面波传播条件的压力
机译:声表面波在其中声表面波可能与电场相关的速度下传播的情况
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