面向精密平台的压电堆执行器动态特性研究

摘要

设计了压电堆执行器在空载与受约束条件下的测试系统,在不同频率交流电压驱动下测得执行器的最大输出位移和输出力分别为36.9μm和669.5 N。根据测试结果辨识出执行器动态工作时的等效刚度为20.9N/μm。此外,对压电堆执行器的阶跃响应及迟滞特性进行测试。阶跃响应测试结果表明执行器的上升时间约为3ms,稳定时间约为5ms,响应速度能够满足精密平台振动控制的要求。迟滞特性的分析结果表明在精密平台振动控制中需考虑迟滞非线性对控制精度的影响。