多功能扫描探针显微镜的设计与实现

摘要

扫描探针显微镜发展至今已经成为具有探测、微加工、微控制和各种谱学等功能的综合性仪器。我们研制的多功能扫描探针显微镜，是一种与光学显微镜结合的、具有ＳＴＭ、ＡＦＭ、ＬＦＭ等多模式和功能的实用型仪器。